特點：

　　1，碳化硅陶瓷底座(低膨脹、高導熱，高彈性模量)

　　根據工藝要求可選擇氧化鋁陶瓷基座、金屬基座

　　2，多孔碳化硅陶瓷吸附平面(低膨脹、高耐磨性)

　　3，高穩定性、輕量化結構設計

　　4，優異的尺寸穩定性

　　5，優異的耐化學腐蝕性

　　6，超高平面度，低至1μm

　　7，可調整孔隙結構及孔隙率滿足不同工藝要求(孔徑10μm-200μm、孔隙率30%-70%)應用于光刻、刻蝕、激光處理、晶圓檢測等制程

　　結 構 特 點：

　　中空結構

　　不對稱薄板結構

　　技術指標要求：

　　面板厚度1mm

　　內部筋板最小0.5mm

　　平面度≤1μm

　　平行度≤ 1μm